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Introducción al análisis y diseño de MEMS
Acceso abierto
En esta obra se presenta una introducción a los Circuitos Integrados, enfocándose posteriormente en los fundamentos del análisis de algunos dispositivos MEMS representativos, abordando con detalle la metodología de diseño de la viga en voladizo, el actuador chevrón y el acelerómetro, así como de un resonador y un microgenerador piezoeléctrico. Se presentan también los principios básicos de fabricación y se muestra el potencial de uso del grafeno. Además, se presentan los principios básicos y ejemplos de la simulación por elemento finito en Ansys®, ya que, tanto el modelado teórico, como numérico y la fabricación constituyen temas indispensables para quienes tengan el interés de iniciar o consolidar su conocimiento en este interesante e innovador tema.
Agustín Leobardo Herrera May, Ernesto Alberto Elvira Hernández, Jorge Varona Salazar, José Mireles Jr. García, Margarita Tecpoyotl Torres, Pedro Javier García Ramírez, Pedro Vargas Chablé, Rafael Vargas Bernal
Editorial
Ediciones Comunicación Científica S.A. de C.V., UAEM